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2) investigated using supersonic seeded molecular beams大野 真也*; 田中 一馬*; 小玉 開*; 田中 正俊*; 吉越 章隆; 寺岡 有殿*
Surface Science, 697, p.121600_1 - 121600_6, 2020/07
被引用回数：1 パーセンタイル：6.04(Chemistry, Physical)放射光高分解能光電子分光法によってシリコン(113)表面の初期酸化を調べた。本研究では、Si2pとO1s光電子スペクトルから酸化物の厚さおよび組成を評価するとともにSiO
/Si界面のひずみを評価した。Si2pから酸化成分(Si
, Si
, Si
, Si
)を分析した。また、O1sスペクトルは、低結合エネルギー成分(LBC)および高結合エネルギー成分(HBC)に分離された。非熱酸化プロセスを調べるために、並進運動エネルギー(
)を高めることが可能な超音速シード分子ビーム(SSMB)を使った。酸化物の品質と酸化速度が、を変えることで大きく変わることが明らかになった。
米田 安宏; 吉越 章隆; 竹田 幸治; 塩飽 秀啓; 松村 大樹; 菖蒲 敬久; 田村 和久
まてりあ, 58(12), p.763 - 769, 2019/12
文部科学省ナノプラットフォーム委託事業において、微細構造解析プラットフォームに属する各実施機関の提供している装置紹介である。
Li, R.*; Pang, C.*; 雨倉 宏*; Ren, F.*; H
bner, R.*; Zhou, S.*; 石川 法人; 大久保 成彰; Chen, F.*
Nanotechnology, 29(42), p.424001_1 - 424001_8, 2018/10
被引用回数：5 パーセンタイル：25.29(Nanoscience & Nanotechnology)銀イオン注入法と高速重イオン照射法を組み合わせることで、Nd:YAG(Nbをドープしたイットリウム・アルミニウム・ガーネット)結晶中に埋め込まれている銀ナノ粒子を制御性良く変形させることができた。本研究では、Nd:YAG結晶中に埋め込まれた球形状の銀ナノ粒子に高速重粒子線を照射することで、銀ナノ粒子を変形させることを試みた。今回、照射前後の表面プラズモン共鳴の微小な変化を検知できることを利用して、照射による金属ナノ粒子のわずかな変形を検出することにも成功した。また、離散双極子近似(DDA)計算と組み合わせることで、その変形度を定量化する手法を開発した。
/Ge gate stacks with ultrathin aluminum oxide interlayers淺原 亮平*; 秀島 伊織*; 岡 博*; 箕浦 佑也*; 小川 真吾*; 吉越 章隆; 寺岡 有殿; 細井 卓治*; 志村 考功*; 渡部 平司*
Applied Physics Letters, 106(23), p.233503_1 - 233503_4, 2015/06
被引用回数：21 パーセンタイル：63.77(Physics, Applied)サブnmの換算酸化膜厚を有する高性能金属/high-/Geゲートスタック構造とその界面特性の改善を酸化アルミニウム中間層を使った界面反応制御によって実現した。物理および電気的な複合評価によってAlOx界面層の諸特性やプラズマ酸化などの詳細な関係を明らかにした。
八巻 徹也
no journal, ,
高崎量子応用研究所では、保有する電子、イオン加速器施設(TIARA)において、独自の照射技術と長年の研究で得た照射効果に関する知識をもとに、機能性材料の研究を行っている。本発表では、その代表的成果を紹介するとともに、化学的、熱的に安定で加工が難しいフッ素系高分子のナノ構造形成に関する我々の研究について報告する。高エネルギー、とりわけ数百MeV以上の重イオンビームによる高分子材料の開発では、単一イオンの改質能をいかに利用するかが鍵である。そこで、TIARAサイクロトロンにおける単一イオンの潜在飛跡を利用した最近の研究成果として、化学エッチングによる多孔質体(イオン穿孔膜)とグラフト重合によるプロトン伝導性膜の作製技術について述べる。
molecule at SiO/Si interfaces studied by real-time X-ray photoelectron spectroscopyTang, J.*; 小川 修一*; 吉越 章隆; 石塚 眞治*; 高桑 雄二*
no journal, ,
界面酸化速度(Rint), 酸化状態(Si, Si, Si, Si), 酸化誘起歪(Si
, Si
)の大きさを酸化中同時モニターするために、O圧力(PO)に依存したOSiO/Si界面でのO反応キネティクスをSPring-8のBL23SUにおいてリアルタイムX線光電子分光を使って調べた。表面酸化後、POを増やすと非線形(Rintは(PO)
)な振る舞いをした(ここでnはSi(111)およびSi(001)基板に対して概ね0.5)。結果は酸化誘起歪によって生成する欠陥がSiO/Si界面でのOの活性な解離吸着サイトであるという酸化モデルによって解釈できる。さらに、表面酸化中にPOを増やすとSiとSiが界面参加開始時点で大きく変化することもわかった。
寺岡 有殿; 小西 啓之; 片山 芳則
no journal, ,
原子力機構が文部科学省から受託して行っているナノテクノロジープラットフォーム事業についてポスターを用いて説明する。特にSPring-8に設置している4本の専用ビームラインとそれらに備えられている共用実験設備、および、利用料金、利用申し込み方法などを説明する。
寺岡 有殿; 小西 啓之; 片山 芳則
no journal, ,
原子力機構では文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業を受託して、微細構造解析プラットフォームの実施機関となり、播磨地区で放射光を活用して外部研究機関の研究を共同研究として支援している。4本の機構専用ビームラインに設置している共用実験装置の概要、利用要領、利用研究例についてポスターを用いて説明する。
寺岡 有殿; 小西 啓之; 片山 芳則
no journal, ,
文部科学省のナノテクノロジープラットフォーム事業の一環として第14回ナノテクノロジー総合シンポジウムが開催される。文部科学省の本事業を受託している各実施機関はそのシンポジウムに参加して各実施機関の研究支援内容についてポスター発表する。原子力機構は微細構造解析プラットフォームに属している。ポスターでは支援のために用いている放射光ビームライン、共用実験装置について説明する。また、利用事例として産業技術総合研究所の「水素雰囲気下放射光X線全散乱法の確立」と東京大学物性研究所研究の「白金合金触媒のその場酸素吸着特性評価」について紹介し、さらに、利用形態と利用料金についても説明する。
寺岡 有殿; 小西 啓之; 片山 芳則
no journal, ,
原子力機構が文部科学省から受託して行っているナノテクノロジープラットフォーム事業についてポスターを用いて説明する。SPring-8に設置している4本の専用ビームラアインとそれらに備えられている共用実験装置、また、産業技術総合研究所と東京大学物性研究所研究の利用事例、さらに、利用形態と利用料金などを説明する。
吉越 章隆
no journal, ,
文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業の一環として、SPring-8 BL23SUの表面化学ステーション利用に関する講習を行う。
吉越 章隆
no journal, ,
粘土鉱物中のCs除染は、Csが粘土に強固に結合しているため困難となっている。Csを効率的に除去する方法の開発は、非常に重要な問題であり、粘土鉱物中のCs吸着およびその物理化学的性質の基礎的理解は重要である。本研究では、人工的に吸着した非放射性Csを含むミクロサイズの風化黒雲母粒子のピンポイント分析をシンクロトロン放射線光電子顕微鏡(SR-PEEM)によって実現した。粘土の絶縁特性にもかかわらず、適切な表面処理によって帯電問題なしにナノメートル分解能を有する構成元素の空間分布を観察した。ピンポイントXASスペクトルは、FeおよびCsの化学状態の情報を与え、Cs吸着が電荷補正によって起きることを強く示唆している。Cs含有量が極端に低い現実のサンプルに適用するにはさらなる技術開発が必要であるが、Cs吸着粘土鉱物のナノスケール分析に有効であることを示す第一歩となった。
吉越 章隆
no journal, ,
原子力機構(JAEA), 物質・材料研究機構(NIMS), 量子科学技術研究開発機構(QST)が開催する令和元年度文部科学省ナノテクノロジープラットフォーム事業2019年度放射光設備利用講習会において表面化学実験ステーションの外部利用者に向けた装置紹介をする。
